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停泵時，泵出口的空氣壓力會使泵反轉，將泵油返到真空室中。因此，需要特殊的閥門，設置在泵的入口處，在泵停止工作的，將泵和真空室隔開。這種保護閥通常是電磁放氣閥。當電機斷電時，電磁閥靠大氣與泵入口的壓差關閉泵與真空室之間的通道，同時向泵入口放大氣。泵啟動時，電磁閥閥板放開，使泵入口與真空室連通，對真空室抽空。在有些旋片真空泵中，泵入口內設置有空氣隔離閥，起到上述電磁放氣閥的作用。這時，泵入口管路上無需再設置放氣閥了。旋片真空泵在工作時，油蒸氣會逆著氣流方向進入泵入口管道，通過管路更終進入被抽容器。油蒸氣的返油量隨壓力的降低而增加，在泵極限壓力附近達到更大，返流油蒸氣主要是泵油中的輕餾分。

1、在泵入口管路上設置放氣閥，使泵入口壓力維持在10Pa或更高，這樣才可以減少返流98%。
2、對于單級旋片真空泵，在泵運轉時打開氣鎮閥能很好的防止泵的返流。
3、在泵入口設置吸附阱，依靠依附劑吸附返流油蒸氣。顆粒活性氧化鋁可以吸附99%的返流油蒸氣。這種吸附阱需要定期更換吸附劑，以防吸附材料吸氣能力達到飽和而失效。
4、使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但價格較貴，因此難以廣泛使用。
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